日　時   平成31年（2019年）1月15日（火） 14:00～18:30（受付13:30～）

場　所機械振興会館　地下3階　B3-1号室 （東京都港区芝公園3-5-8／東京タワー前） 交通アクセス

プログラム開会挨拶（日本表面真空学会 産学連携委員会 副委員長）入江 則裕　14:00～14:101．JSNDI漏れ試験部門活動の紹介（元キヤノンアネルバ株式会社）田村 芳一　14:10～15:10※ JSNDI：The Japanese Society for Non-Destructive Inspection（(一社)非破壊検査協会）
［講演要旨］
　ISOにおける漏れ試験の資格認証化の背景は，製品が品質管理システムに組み込まれ，品質の数値化や，作業技術者の資格付け，製造のアウトソーシングや，部品調達のグローバル化が要求されるようになってきたことによる．この春まで，一般社団法人日本非破壊検査協会がNDIS(協会規格)の下にレベル1,2の資格認証を行ってきたが，2018年12月～2019年1月に，レベル1,2,3のISO/JIS資格認証に移行する初めての講習会が開催され，2019年春に資格認証試験が行われる．これらの経緯を紹介する．休 憩 （15:10～15:20）2．真空装置のメンテナンスリークテストの解説15:20～16:20
（島津産機システムズ株式会社 エミットカンパニー 秦野工場 技術グループ 課長）井川 秋夫
［講演要旨］
　真空装置のメンテナンスにおけるリークテストにおいて，最も高感度なヘリウム漏れ試験方法に焦点をあて，応用例から見ての各試験条件の注意事項と重要ポイントについて解説する．合わせて，最新のドライポンプ搭載のヘリウムリークディテクタの技術説明も行う．

3．技術交流会（ショートプレゼンテーション（各3分程度）＆ ポスター発表）16:20～18:30
　1）ショートプレゼンテーション（6件）
　2）ポスター発表会（10件）
　①先端科学計測を支える超高密度真空導入端子（(株)ミスト）松田祐二
　②グローブボックスの漏れISO規格の紹介（大亜真空(株)）冨江　崇
　③ISO17025に基づく標準リークの校正事業者認定に向けた取り組み（(株)アルバック）鈴木宗宜
　④漏れ定量化のための国家標準の開発　（産業技術総合研究所）新井健太
　⑤標準コンダクタンスエレメントの開発とMEMS用超微小リーク装置への応用（産業技術総合研究所）吉田　肇
　⑥Pfeiffer社製Heリークディテクター（伯東(株)）羽根俊雄
　⑦超小型質量分析装置（アトナープ(株)）佐藤　武
　⑧アトーテック株式会社のナノ粒子製造装置、その他の紹介（アトーテック(株)）渡辺正晴
　⑨JSNDI漏れ試験部門活動の紹介（元キヤノンアネルバ(株)）田村芳一
　⑩真空装置のメンテナンスリークテストの解説（島津産機システムズ(株)）井川秋夫

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